意塔尔分子泵：ETR-F 系列的抽吸能力从 10-5000 升L/S秒，全系列紧凑且的涡轮分子泵。有一体式及分体式两种规格，其具有高性价比、高可靠性能抽速和安装角度的灵活性。更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体 具有更高的压缩比。1、 一体控制：控制器一体化设计，便于系统集成，可以一键启停；2、精密轴承：脂润滑精密陶瓷球轴承，可任意角度安装；3、 产品可靠：涡轮转子一体成型，无位置传感器高速电机驱动；4、功能多样：配件齐全，可提供客户定制方案；5、 提供转速可调功能，满足客户一款泵多种抽速的需求； 广泛应用于：半导体工业、太阳能光伏、半导体封装、物理气相沉积PVD/CVD、离子注入系统、加速器、长晶炉、核聚变研究、真空干燥、真空成型、反应釜、真空镀膜、半导体工业、锂电池制造工艺、芯片制造、平板显示器、光伏太阳能、真空吸附、真空炉、真空热处理、钢和其他冶金、蒸馏/萃取/过滤、制药其它工艺脱气/脱泡、分析仪器、高校院所等行业。