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本机组由可选用各式真空泵作为真空源，配套相应的真空阀门，真空仪表，智能电控箱，真空罐，过滤器,机箱等组成的成套机组。
意塔尔Yitaervacuum 可量身定制个性化的真空系统及各类厂务系统和应用于工序集成系统
提供专业的真空系统解决方案设计、组装、安装和服务
单泵真空机组主要特点：
1、外观美观。
2、结构设计紧凑，占地空间小。
3、一体式设备，固定或方便移动。
4、可根据用户的工艺，使用要求针对性设计。
5、非常适用于新能源设备、锂电池、3C、半导体、芯片制造、复合材料、压铸、脱气脱泡、真空吸取、CNC加工、制药生产等各类制程工况配套使用。
*可根据用户吸入口条件、冷却水的条件、排气口的条件等进行非标设计。
| 多泵系统3ETRD系列 | ||||||
| 型号 | 单位 | 3ETRD20-200 | 3ETRD63-600 | 3ETRD100-600 | 3ETRD200-1000 | 3ETRD300-1000 |
| 抽速 | m³/h | 20*2 | 63*3 | 100*3 | 200*3 | 300*3 |
| 极限压力 | mbar | 0.5 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 缓冲罐体 | L | 200 | 600 | 600 | 1000 | 1000 |
| 电机功率 | Kw | 0.75*3 | 2.2*3 | 3.0*3 | 5.5*3 | 7.5*3 |
| 尺寸（长*宽*高） | mm | 1050*615*1570 | 1050*715*1630 | 1050*715*1630 | 1380*1250*1650 | 1380*1250*1650 |
