低温等离子净化器在废气处理工程中的应用较为广泛，其主要工艺流程主要由以上六大部分组成。

气体收集系统—预处理喷淋洗涤系统—低温等离子净化系统—尺度气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体收集系统主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统。具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。

废气处理中洗涤系统用来和废气在洗涤塔内进行预处理化学反应，去处粉尘且通过化学反应后的气体达到废气主打产品净化处理，具体包括一对一填料、喷淋装置、脱水层、风机、加药系统等。

低温等离子净化器内部装有值得信赖的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的无益气体被电场内所产生的臭氧所具体以实际为主，并去除了异味，无益气体被除掉,达到废气处理的目的。

吸附催化净化处理装置是一种干式废气处理设备。由箱体和装填在箱体内的吸附单元组成，吸附单元根据废气处理要求添加催化剂达到进一步去处异味气体的目的。控制系统主要用来控制系统开机、停运，并对系统运行效果进行检测，反馈系统的运行状态和技术参数，从而使设备处于佳运行状态，实现无人值守。

低温等离子净化器的技术：

1、过滤技术：颗粒污染物过滤技术主要是HEPA滤网，HEPA滤网质量参差不齐，一些滤网虽然具有较高的过滤效率，但是阻力大，能效比比较低，而且很容易堵塞，寿命较短，一般建议选用带有静电驻极的容尘HEPA滤网，静电驻极技术使得无纺布纤维带有正负电，捕捉空气中的颗粒物，很多HEPA滤网都号称具有静电驻极技术，但是由于技术原因很多滤网的驻极电荷在较短的时间内会衰减的很快，导致过滤效率降低。

2、关注适用面积或颗粒物洁净空气量：空气净化器净化能力的强弱，主要是由适用面积和颗粒物洁净空气量（CADR：提供的洁净空气的速率）决定，两者之间的关系为：适用面积=CADR×0.1。对其它污染物的净化能力，应和适用面积相结合。

3、能效比和能效等级：空气净化器通常是长期连续使用的，能效比作为衡量空气净化器净化能力与电力消耗的重要指标，值得大家关注。能效比和能效等级越高，代表空气净化器越节能，使用成本越低。

4、臭氧释放量：臭氧作为强氧化剂具有的净化能力，但对人体是有伤害的。对空气净化器臭氧释放量有强制性要求，限定在≤5×10-6%（臭氧具有鱼腥味）。