等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生、的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

等离子净化器的特点：

1、处理效果好，在额定处理风量小，去除率达以上，颗粒物去除率高。

2、二次油回收量大、纯度高，可在短期内收回设备投资。

3、设备带有完善的电气保护功能。

4、模块式结构、多电源控制，在部分电源停止工作的情况下不影响设备使用。

5、容易清洗维护，只需打开设备检修门取出电场浸泡冲洗就可以。

6、具有放电跳停、电源过载保护和变压器过温保护、设备运行。

7、圆筒蜂巢电场，能使设备具有良好的除油雾效果。

1：微波激发区

等离子净化

本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优良。

2：低温等离子体激发

本工艺有40支至240支充有气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的技术，从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，较大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有的能量平衡性，在粒子撞击中失能较少，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，较大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。

3:极板区

根据被处体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。

根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。