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◆微波功率容量大、功率密度高;
◆沉积面积大、速率快、质量高;
◆安全可靠,满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行;
◆第三代高稳定固态功率源,新型下馈式大容积碟形放电工作腔;
◆微波功率0.5~12kW连续可调,稳定度1%;
◆放电区Φ≥100mm;均匀沉积区Φ≥75mm;
◆工作气体:H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar;
◆极限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;
◆工作压力:0.1~30kPa;自动控制;
◆红外测温:600~1800℃(双色);
◆PLC和15寸触摸屏多参数自动控制。
(1) | 产品 | HMPS-2120SP |
(2) | 微波源 | 12kW/2450MHz固态功率源 |
(3) | 微波传输及耦合系统 | BJ-22/环行器/水负载/销钉/模式变换器耦合等 |
(4) | 等离子放电工作腔及基片台系统 | Φ500同轴耦合蝶形腔,Φ100mm基片台 |
(5) | 真空系统 | 600l/s分子泵、8l/s双级直联泵、进口真空测量规管 |
(6) | 气体MFC系统 | 进口4(5)路质量流量计,过滤器、EP-1/4’VCR接头及管 |
(7) | 测温及基片台冷却 | 进口(双色)红外测温,进口水温度流量传感器 |
(8) | 控制系统 | PLC及触摸屏多参数自动控制操作 |