单模腔型微波等离子体系统

HMPS-2010C 1kW / 2450MHz单模腔型微波等离子体系统

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2017-09-13 01:23:38
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单模腔型微波等离子体系统

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单模腔型微波等离子体系统
 
 
 
作者:0  来源:0  浏览:143次  更新:2007-11-22 12:21:24
 

  

HMPS-2010C 1kW / 2450MHz单模腔型微波等离子体系统

 

技术特点

 

     系统采用HMG-2010C1kW/2450MHz高稳定程控微波功率源。运用完善的线路安全闭锁控制系统,使该系统工作寿命长,电气性能优良,安全可靠,操作简单方便。

     微波传输系统由高性能微波环行器,销钉调配器,带反射波取样的水负载以及外部连接波导组成。它确保反射波对磁控管的良好隔离,并能方便地调节*匹配,达到微波功率的*传输。

     系统采用带短路活塞的圆柱型单模腔。调节短路活塞可在很宽的运行范围内实现谐振把微波功率耦合给负载。为确保大功率下稳定工作, 腔壁采用水冷。单模腔两个侧面开有直径8mm的观测孔,可供安放测温传感器等用途。

     系统主要用途: 1). 微波等离子体实验装置;2). 微波高温陶瓷烧结或焊接。3). 微波化学合成,萃取和消解等。

 

技术参数

工作频率:                                   2450±50MHz

输出功率:                                   0.1 ~ 1kW  连续可调

功率稳定度:                              优于±1%(在额定功率电平)

输出波导接口:          BJ-26 FD-26标准法兰

输入电源:             380V/50Hz±5%  三相四线

冷却水流量:           3L/min

系统驻波系数:         VSWR 1.5

反应腔zui大直径:       Ф45mm

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