倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空计

Gemini MPG55x / MAG55x

INFICON Gemini™倒置磁控管真空计是所有真空测量应用的动力源泉。Gemini MPG50x将两项传感器技术整合在一个小装置中，测量范围从大气压至1 × 10^-9毫巴；而 Gemini MAG50x是一个纯冷阴极传感器系统(不含皮拉尼元件)，测量范围从1 × 10^-2毫巴至1 × 10^-9毫巴。获得的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，使Gemini成为同类产品中极其坚固耐用的经济型真空计。

MAG和MPG Gemini现在提供EtherCAT现场总线和设定点MAG55x和MPG55x。

对于腐蚀性应用，我们建议使用陶瓷涂层版本MxG5x4。传感头内部的馈入装置和皮拉尼采用全陶瓷涂层，增强了耐腐蚀性。

优势

• 在恶劣环境下，使用寿命长

• 可靠的快速点火

• 低杂散磁场

• 可选测量电流

• 快速维护 — 可更换电离室

• 耐腐蚀馈入装置和传感器元件

• EtherCAT和RS232/RS485数字接口

• 紧凑尺寸，易于集成

• 2个继电器设定点(MxG55x)

应用范围

• 基础压力监测和控制，在蒸发和溅射镀膜应用中，测量范围从大气压到高真空。

• 一般真空测量 — 工业炉、建筑玻璃、半导体、生产实验室。

分析和研发应用 — 质谱分析、电子显微镜、眼科、光学、医疗和高能物理。