集成BARATRON® 的压力控制器

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2021-08-03 19:57:06
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产品简介

piPC90集成Baratron®的压力控制器,集成压力显示器,可控制上游或下游压力

详细介绍

piPC90 集成Baratron® 的压力控制器,集成压力显示器,可控制上游或下游压力。满量程范围:1000 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet、RS-485、模拟。

piPC99 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,集成压力/流量显示器,可控制下游压力。压力满量程范围:1000 Torr – 100psia,流量满量程范围:10 – 30000sccm,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet、RS-485、模拟。

640B 压力 / 641B 表读压力集成Baratron® 的压力控制器,可控制上游或下游压力。满量程范围:10 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%。

649B 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,可控制下游压力。压力满量程范围:10 – 5000Torr,流量满量程范围:10 – 5000sccm,控制精度:满量程的±0.2%。

DPC 双区压力控制子系统。集成了气动隔离阀,双Baratron® 的带流量监测的闭环压力控制器。用于硅片背面氦气冷却系统。


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