P系列高性能金属密封数字质量流量控制器

新一代多气体/多量程数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于*的数字算法技术，提供精度为设定值的±1%、相应速度快于500毫秒、不同气体及量程间自由切换的优异功能。1.125吋宽度。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字（RS-485、DeviceNet、Modbus/TCP）通讯接口可选。

•P2A 低压质量流量控制器，满量程范围从2 – 50 sccm。

•P4B 多气体/多量程数字质量流量控制器，满量程范围从5 sccm – 50 slm。

•P9B 多气体/多量程/压力不敏感数字质量流量控制器，满量程范围从5 sccm – 50 slm。