在线质量流量检验器
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•HA-MFV 高精度质量流量校验器是为在工艺设备上校准质量流量控制器而设计的。其精度可达读值的1%,并可以校验真实的工艺气体。HA-MFV的精度有非常显著地提高。HA-MFV对其延伸部分体积(从MFC到HA-MFV)及其变化都不敏感
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