测量范围

X轴

100mm

Z1轴 (检出器)

50mm

上下移动量 (Z轴立柱)

350mm

—

X轴倾角范围

±45°

分辨力

X轴

0.1μm

Z1轴

0.1μm

驱动方式

X轴

电动 (0 - 20mm/s)

上下移动 (Z轴立柱)

手动 (快速上下动、微动)

—

测量速度

0.02~5mm/s

直线精度 (X轴水平位置时)

2.5μm/100mm

指示精度

X轴

± (2.5+0.02L) μm L：测量长度 (mm)

(20°C)

Z1轴

±(2.5+|0.1H|)μmH=为水平位置上的测量高度±25mm以内

测量方向

向前/向后

测量面方向

向下

测力

30±10mN (3gf)

测针跟踪角度(以标准配件测针为例)

根据表面粗糙度而定

尺寸 (幅度×深度×高度)

745×450×885mm

651×143×138.5mm

重量