测量范围

Z轴（纵向）

50mm

X轴（横向）

100mm(-22系统为200mm)

精度

Z轴指示精度

±(0.8+4H/100)um H:测量高度（mm）

测量分辨率

0.025um

X轴指示精度

±(1+2L/100)um L;测量高度（mm）

测量分辨率

0.1um

直线度精度

1um/100mm

测量方式

Z轴

激光反光分析光尺

X轴

摩尔干涉光尺

记录

纵倍率

0.01-10,000.000倍（可以为自动）

横倍率

0.01-10,000.000倍（可以为自动）

速度

立柱上下移动速度（Z轴）

3mm/s

测量速度（X轴）

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

测量间距

0.1um

测量点数

100.000点（10形状）

测针半径

0．025mmR

测量力

30mN以下

测量进给方向

拉·推·两方向

测量姿势

上·下、两方向

计算处理功能

点、直线、圆、部分圆、椭圆、距离、坐标差、坐标差、直交/坐标差显示、交叉要素（点-直线、直线-直线、圆-直线、圆-圆、直线-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆-椭圆）、坐标控制（原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动）、面积计算Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、搜寻功能、自动操作记录·回放功能、形状、设计值比对、拟合功能、设计值生成、IGES/DXF转换功能

各要素

电源

单相AC100V±10% 50/60Hz

耗电量

380VA

设置尺寸

1850（W）*800（D）*750（H）mm

质量

150kg