测量范围

Z轴（纵向）

50mm

X轴（横向）

100mm

精度

Z轴指示精度

±(2.+12HI/100)um/5mm范围、20mm范围、±（3.5+14HI/1000um/50范围H：测量高度（mm）

测量分辨率

0.1um/5mm范围、0.4um/20mm范围、1um/50mm范围

X轴指示精度

±（1+2L/100）um L：测量长度（mm）

测量分辨率

0.04um

直线度精度

1um/100mm

测量方式

Z轴

差动电压

X轴

摩尔干涉光尺

记录

纵倍率

0.01-10,000.000倍（可以自动）

横倍率

0.01-10,000.000倍（可以自动）

速度

立柱上下移动速度（Z轴）

10mm/s

测量速度（X轴）

0.03-20mm/s

测量间距

1um

测量点数

100,000点（10形状）

测针半径

0.025mmR

测量力

30mN以下

测量进给方向

拉·推·两方向

测量姿势

上·下、两方向

计算处理功能

点、直线、圆、部分圆、椭圆、距离、坐标差、坐标差、直交/坐标差显示、

交叉要素（点-直线、点­-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆-椭圆）坐标控制（原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动）

面积计算、Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与设计值对比、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录·回放功能

各要素

电源

单相AC100V±10% 50/60Hz

耗电量

400VA

设置尺寸

1250（W）*850（D）*1500（H）mm

质量

125kg