晶圆切割3D形貌检测机

晶圆切割3D形貌检测机

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具体成交价以合同协议为准
2023-04-28 08:16:43
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苏州工业园区汇光科技有限公司

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产品简介

晶圆切割3D形貌检测机，专用行业检测设备，自动化测量，操作便捷。

详细介绍

晶圆切割3D形貌检测机

 晶圆切割3D形貌检测机应用

（1）崩边检测

晶圆切割3D形貌检测机崩边检测

（2）沟槽深度扫描测量

晶圆切割3D形貌检测机沟槽深度扫描测量

（3）线条图形扫描宽度提取

晶圆切割3D形貌检测机线条图形扫描宽度提取

（4）测试位置可以自定义

晶圆切割3D形貌检测机测试位置可自定义

晶圆切割3D形貌检测机样品测试数据

（1）槽深测量

槽深测量

（2）槽宽测量

槽宽测量

（3）四个位置的测量结果

晶圆切割3D形貌检测机测量结果


晶圆切割3D形貌检测机样品测试小结

（1）随机选取四个镭射槽的槽宽在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm

（2）测量四个位置自动化所需时间约为2min

测量结果

槽内干涉条纹图表面干涉条纹图
槽内干涉条纹图表面干涉条纹图

样品三维图

QQ截图20230308133637.jpg

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