进气口

DN

200 ISO-F

250 ISO-F

200 CF

PNEUROP的抽速

氮气

I x s-1

1100

1220

1100

氩气

I x s-1

1050

1180

1050

氦气

I x s-1

1100

1200

1100

氢气

I x s-1

920

1020

920

额定转速

min-1

36 000

36 000

36 000

压缩比

氮气

> 108

> 108

> 108

极限压强，根据 DIN 28 400

mbar (Torr)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-10 (< 0 75 10-10)

前级耐压（对氮气）

mbar (Torr)

2 6 (1 95)

2 6 (1 95)

2 6 (1 95)

推荐的前级泵

抽速达100m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

启动时间

达95%名义转度时

min

< 6

< 6

< 6

出气口外形尺寸

DN

40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

吹扫和破空口

VCR

1/4"

1/4"

1/4"

冷却水接口

（管道外径）

mm (in )

6 4 (0 25)

6 4 (0 25)

6 4 (0 25)

重量（近似）

kg (lbs)

32 (70 6)

32 (70 6)

32 (70 6)