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2000iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵
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3000iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵
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DIJ35/1000油扩散泵
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10000iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵
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W/2200/2201iP(L) TURBOVAC MAG INTEGRA集成磁悬浮复合分子泵
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250i/iX TURBOVAC i/iX分子泵
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DIJ20/630 油扩散泵
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450i/iX TURBOVAC i/iX分子泵
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5000iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵
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W2200C/CT/2200 TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵
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W2000C/2000CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵
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W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵
面议在E-03mbar工作压强范围，油增压泵所表现出的大抽速的特点，可以弥补罗茨机组和油扩散泵在此区间抽速较小的缺点， 因此特别适合于真空感应炉（VIM/VID）、溅射镀膜设备等工艺应
用的真空需求。莱宝真空提供LEYBOJET OB系列油增压泵产品，满足您的工艺需求。
油扩散泵/油增压泵/罗茨机组抽速曲线特性
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客户得益
- 专为工业应用设计，坚固耐用，真空性能优异
- 模组化设计，配置使用方便灵活
- 投影尺寸小，加热效率高，运行安全（表面温度低于45 °C），控制智能（PLC）
- 可选高真空法兰接口
- 可选能耗管理系统
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技术参数 | OB18000 | |||
高真空/前级真空接口 | DN | 630 ISO-F / 160 ISO-K | ||
低于 1 x 10-3 mbar时空气的抽速 1) | l x s-1 | 18 000 | ||
工作范围 | mbar (Torr) | < 10-1至 10-5 (0 75 x 10-1至 0 75 x 10-5) | ||
极限全压强 1) | mbar (Torr) | < 5 0 x 10-4 (3 75 x 10-4) | ||
泵油加注量，低/高 | l (qts) | 60 / 90 | ||
电源连接标准欧标, 50/60 Hz 标准美标, 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz | VVV | 400 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 230 ~ 3 Ph Δ | ||
加热功率 | kW | 36 | ||
加热棒数量 | 9 | |||
升温时间 | min | ＞ 60 | ||
冷却水流量（低）泵 2) 供水压力 | l x h-1 (gal/min)bar (psig) | 1400 6 | ||
冷却回路数（包括水冷帽） | 7 | |||
冷却水接口泵 | G (BPS) | 1" | ||
尺寸：高度x直径 | mm | 2742 x 1491 | ||
重量（约） | kg (lbs) | 1400 | ||
推荐的前级泵 3)工作压强 > 10-4 mbar (> 0 75 x 10-4 Torr) | SV 630B + WAU 2001 | |||
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订货信息 OB12000
产品号 | ||||
油增压泵标准欧标标准欧标（带控制器）标准美标特殊 | 18 000 503508V001 503508V002根据要求提供根据要求提供 | |||
泵油LVO 540 4) | 见样本“真空泵油/真空润滑脂/真空润滑剂LEYBONOL” | |||
1) 用LVO540泵油按DIN 28 427测得。
2) 冷却水需要量参看ΔT = 15 °C。出水温度不应超过50 °C。
3) 前级泵可选用单级旋片泵（SOGEVAC）或者干式螺杆泵（DRYVAC650），以及罗茨真空泵（RUVAC）的组合。
4) 泵不含油，需单独购买。
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