无油爪式真空获得技术因其清洁抽空，节能环保等特点逐渐在各个领域得到了应用。本文就无油爪式真空泵特点及在太阳能行业多晶硅铸锭炉生产工艺中替代湿式真空泵的推广意义。

大路通无油爪式真空泵在泵腔内具有若干组相互啮合的爪型转子。转子与转子之间及转子与泵腔之间并不接触，留有微小的间隙，不用任何润滑剂，从而保证了清洁的真空环境。泵的结构采用多级转子串连的形式，每组转子分别位于不同泵腔做同步反方向运动。泵腔被爪型转子分隔为吸气腔和排气腔两部分。随着转子连续运转，进行循环的吸气排气过程，实现了泵连续抽气的目的。

的特点：

1.泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染；

2.真空度高、可达3Pa；

3.结构简单、易于操作和维护、运行成本低；

4.能在较高压力下长期连续工作、噪声小；

5.能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）；

6.能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105；

7.转子对悬浮在泵腔内，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用寿命长。

8.爪式泵具有免拆泵清洗功能，在使用过程中如有大量液体，粉尘或粘稠等异物后，可以在不拆泵的情况下，半小时能对泵内部全部清洗并恢复到出厂水平，工作状态稳定。

在多晶硅太阳能电池行业的应用

多晶硅铸锭炉要求炉内的极限压力必须抽到1Pa以下，目前国内很多厂家配备的是油式泵，但油式泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。油式泵入口压力范围：100Pa—100000 Pa，超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。与无油爪式真空泵不同，油式泵对环境温度也有要求，真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。由于多晶硅生产厂都是将几十台甚至于上百台炉子集中在一个封闭的空调厂房内，所以对真空机组的振动和噪声要求极为限严格，而且要求真空机组在连续60小时下运行，从长远使用的耗费成本上看，油式泵需要定期保养耗费大量人力与物力成本，而不需维持的无油爪式真空泵，无疑就成了制程上选。

大路通公司配置的无油爪式真空泵机组是液力传动罗茨泵加上无油爪式真空泵，机组的极限压力可达1ｘ10-2Pa。此无油爪式真空泵组体积小、重量轻、噪声低、无振动、可靠性好，所以现在太阳能行业多晶硅铸锭炉工中无油爪式真空使用技术中替代湿式真空泵是国际发展趋势，未来将是干泵世纪。应用湿式真空泵高能耗，高排污费用增加了企业成本，降低了企业竞争力。运用无油爪式真空泵替代油泵，不但符合国家政策方向，而且节能环保，更能为企业带来显著的经济效益，在太阳能行业中具有普遍的推广价值和意义。