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真空系统,实为1台或多台真空泵和1个或多个真空储气罐,再加上一个电源控制箱为主,也可按客户要求配置真空度或电磁阀等控件组成的。系统应用范围广泛,无论抽气速度、容量和真空压力都可以按客户的特殊要求而做出适当的选择,结合不同的应用,配合制程需要而调整适当的系统要求,用于供应整厂或多方面机械设备应用的真空要求。
一般来说,真空系统具备下列优点:
1、低噪音、低振动、可降低整厂内噪音;
2、集中放置,节省空间,整体上方便保养或维护;
3、集中供气,气量比同条件下同数量散放的真空泵气量足;
4、节能,可按需要调节真空泵自动切换开启或关闭,节省电量;
5、储气罐配置,除可缓冲气量外,亦可某种程度上方便排水或轻度过滤,降低空气水份或其他与真空泵润滑油与制程气体介质直接接触机率。
双级旋片真空泵系统是理想中的中、高真空获得设备,用于抽除普通空气或惰性气体和少量可凝性蒸汽。真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。
油式双级旋片真空泵工作原理:
由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片,将定子分隔成两个工作腔(高、低级工作腔),旋转时,双级旋片式真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动,使得高级工作腔容积周期性扩大而吸气,低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体,借助气体和油的压力推开排气阀排气,从而获得真空。当吸入压力较高时(例如从大气压开始吸气),气体在高级腔被压缩,压力急增,则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出,另一部分气体经压缩后通过中壁内的级间通道进入低级腔,再次压缩后从低级排气阀排出,此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时(例如泵工作一段时间之后),气体由吸气口进入高级腔,气体在高级腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间通道进入低级工作腔,再次压缩后从低级排气阀排出。
东莞大路通双级油式旋片真空泵主要优点:
1.易于安装及保养
2.油镜视窗大,便于确认油污染状况
3.直接驱动,免皮带.齿轮松弛或损耗
4.高抽速,真空度高,噪音小,震动低
5.空气冷却,散热效果好,螺栓固定泵浦
6.内置油雾分离器,有效避免油气制程污染,洁净环境
产品用途:
主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、封装测试、真空含浸、等离子清洗行业。
东莞大路通作为真空泵制造厂家,为客户提供各类型真空系统,专业真空技术工程师为各行业客户提供全面的真空应用技术解决方案及设备配套,为客户降低采购成本。