扩散泵机组的主泵是一种高真空泵，其工作介质为扩散泵油，其抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口在由罗茨泵和机械泵带走的过程，是一种抽速可以做得很高真空泵。油扩散泵不能单独使用，必须有前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到扩散泵所能接受的压力时才能开始工作，否则，油扩散泵将不能正常工作并造成氧化大量的返油等情况。该设备可用于真空炉体、真空罐体、气站管道类等器件的真空排气。

扩散泵机组广泛应用于：真空冶炼、真空焊接、分析仪器、功能型镀膜、装饰型镀膜、电子管制造、电真空器件制造、光学、外层空间模拟、粒子加速器、石油化工、实验室研发、半导体制造等领域。

原理

鸣富真空科技（上海）有限公司座落于美丽的松江榆松工业园，是集研发、设计、生产、销售和服务为一体的综合性高新企，以真空检漏设备(检漏仪，氦捡设备等)、真空获得设备(旋片泵，罗茨泵，罗茨机组，分子泵等)、真空阀门、真空配件(真空管道，真空法兰，波纹管等)、精密加工为主业，拥有自营进出口经营权和多项自主研发的产品。