涡轮分子泵的操作注意事项及应用
时间：2024-10-31 阅读：154
涡轮分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子运动从而获得超高真空的一种机械式真空泵，是由动叶轮与静叶轮组合而成，比扩散泵节能、无油蒸汽污染，同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点，是目前国内大抽速的分子泵，动叶轮采用变截面加工，其强度增加重量减少，使分子泵性能更可靠、稳定。
涡轮分子泵的操作注意事项
♦不能在前级泵工作时(前级管路接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
♦分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
♦选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
♦不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。
♦分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
涡轮分子泵的应用领域，包括但不限于：
♦分析(质谱分析仪，电子显微镜等)。
♦半导体工业(电子零部件，集成电路，太阳能电池等)。
♦光学/玻璃工业(防热，防反射，反射，光学过滤涂层等。
♦涂层技术(表面防护,装饰性涂层,显示器,屏幕等)。
♦真空冶炼(真空焊,真空烧结,真空合金,真空炉等)。
♦检漏技术(真空设备,车辆油箱,安全气囊,包装等)。
♦科研设备(核物理,聚变反应研究,激光应用等)。
♦照明用具行业(灯泡生产)。