GIB 精修离子束系统

用于扫描电镜 / 双束电镜的氩离子束方案

Technoorg  Linda  精修离子束系统的低能氩离子枪（GIB） 适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧 化物表面层。 当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时 ，其作用尤为明显。有了集成离子枪 ，就可以在研究之前对样品  进行精修。 实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后，对 TEM 样品进行最 终抛光和温和的表面清洁。

可与扫描电镜集成

带波纹管的传输系统可通过连接管安装到扫描电镜上。连 接管输出法兰的尺寸与相应的 SEM 端口尺寸相匹配。通  过线性传输系统提供的离子源流动性，可实现理想的工作 距离（15-30 mm）。

低能量氩离子枪

低能量离子枪的直径和长度均为  50mm。氩离子束的能 量范围：100eV - 2kV。 2kV 时的最大束流为 70µA。离 子束为宽束，半最大全宽（FWHM）为 2mm。

半管支架

低能量离子枪安装在半管支架中。