简介
正置显微镜用电动XYZ平台专门设计用于提供高分辨率和高度可重复的控制平台 X、Y 和 Z 位置。 该平台适合于任何需要超精确 XYZ 定位的应用。 以型号FTP-2000的正置显微镜用电动XYZ平台为例，所有轴都通过使用采用高分辨率旋转编码器进行定位反馈的闭环直流伺服电机来实现精确控制。 FTP-2000 平台采用交叉滚柱滑轨、高精度丝杠和零背隙微型齿轮直流伺服电机，可实现平稳准确的运动。 微处理器控制的 MS-2000 控制单元提供与主机的 RS-232 和 USB 通信。
特点（型号FTP-2000 ）
- X、Y 和 Z 轴的闭环直流伺服控制，可实现精确定位和高度可重复的聚焦
- XY 操纵杆控制的宽动态速度范围
- 采用 LS 系列线性平台进行 Z 轴控制
- 背光 LCD 显示屏显示 X、Y 和 Z 坐标
- “归零”和“主页”按钮用于简单的单机操作
- 符合人体工程学的紧凑型桌面控制单元
- 带有 RS-232 串行和 USB 通信的微处理器控制
RM-1250 Gen II （XY 自动平台） 型号：RM-1250 Gen II （XY 自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 125 mm x 125 mm
- XY 轴分辨率（编码器步长） 22 nm
- XY 轴 RMS 重复性 < 700 nm
- XY轴速度 7mm/sec
- 推荐负载（*可根据要求提供更高的负载）5kg
- *为 6.35 mm 螺距丝杠
FTP-2000 （XYZ自动平台） 型号：FTP-2000 （XYZ自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 120 mm x 75 mm
- XY 轴分辨率（编码器步长） 22 nm
- XY 轴 RMS 重复性 < 700 nm
- XY轴速度 7mm/sec
- Z 轴分辨率（编码器步长）5.5 nm
- Z 轴重复性 < 700 nm
- Z轴速度1.6毫米/秒
- 推荐负载 (*可根据要求提供更高的负载) 10kg
- * XY 平台的质量减少（通常为 5kg）
- *显示为 6.35 mm 螺距丝杠
MS-2000 （XY自动平台） 型号：MS-2000 （XY自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 100 mm x 100 mm
- XY 轴分辨率（旋转编码器步距） 0.022 μm
- XY 轴 RMS 重复性 < 0.7 μm
- XY轴速度 7mm/sec
- *显示为 6.35 mm 螺距丝杠
OE-1250 GEN II （XY自动平台） 型号：OE-1250 GEN II （XY自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 125 mm x 125 mm
- XY 轴分辨率（编码器步长） 0.022 μm
- XY 轴 RMS 重复性 < 0.7 μm
- XY轴速度 7mm/sec
MS-2000（XY自动平台） 型号：MS-2000（XY自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 100 mm x 100 mm
- XY 轴分辨率（旋转编码器步长） 0.022 μm
- XY 轴 RMS 重复性 < 0.7 μm
- XY轴速度 7mm/sec
- 重量 2.27 kg
- 尺寸 (20.5 x 23 x 6.5 cm)
- *显示为 6.35 mm 螺距丝杠
MS-4400（XY自动平台） 型号：MS-4400（XY自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 120 mm x 100 mm（可能受显微镜限制）
- XY 轴分辨率（旋转编码器步长） 22 nm
- XY 轴 RMS 重复性 < 700 nm
- XY轴速度 7mm/sec
MS-9500（XY自动平台） 型号：MS-9500（XY自动平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 225 mm x 125 mm
- XY 轴分辨率 100 nm（典型值）
- XY 轴 RMS 重复性 < 700 nm（典型值）
- XY轴速度 7mm/sec
PZMU-2000 （Z轴压电平台） 型号：PZMU-2000 （Z轴压电平台）
标准配置规格
- （XY 轴行程范围）（标准 OEM 平台）
- Z 轴行程范围 (± 5%) 150 μm、300 μm、500 μm（100 μm 和 200 μm 版本可选）
- Z 轴分辨率 1.5 nm
- Z 轴速度，稳定时间为 5 mm/s（每次移动约 10 ms）
- Z轴共振频率（空载）> 1 KHz
- Z轴顶板承重500g
- Z 轴顶板刚度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 轴顶板面内倾斜（典型）10 μrad
- 尺寸（长 x 宽 x 高）242 x 176 x 19 mm
PZU-2000 （XYZ 自动平台，带压电 Z 轴平台） 型号：PZU-2000 （XYZ 自动平台，带压电 Z 轴平台）
标准配置规格
- XY 轴行程范围 120 mm x 110 mm
- XY 轴分辨率（编码器步长） 0.088 μm
- XY 轴丝杠精度 0.25 μ/mm
- XY 轴 RMS 重复性 < 0.7 μm
- XY 轴速度 7 mm/sec
- Z 轴行程范围 100 μm（175 μm 版本可选）
- Z 轴分辨率 1.5 nm
- Z 轴速度，稳定时间为 5 mm/s（每次移动约 10 ms）
- Z轴共振频率（空载）> 1 KHz
- Z轴顶板承重500 g
- Z 轴顶板刚度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 轴顶板面内倾斜（典型）10 μrad
