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1、具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
    采用合理的烘烤技术
   用油扩散泵获得超高真空系统都要进行高温烘烤，目的是减少材料的出气速率。材料在大气下都能吸收和吸附一些气体，当处于真空中时，便产生解吸，使气体缓慢地释放出来，为了加速解吸，采用烘烤。
    2、良好的抗腐蚀性和抗乳化性
　　真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起莱宝真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求
　  材料不同，选择的烘烤温度也不同。原则是温度高一些好，可以加速出气，但还要考虑到材料是否能经受得住高温。烘烤温度要选择合适。通常金属材料，如不锈钢，烘烤温度为250℃—450C;非金属材料烘烤温度为80℃—100℃。烘烤时间4h—8h以上。*真空的烘烤时间在24h以上。典型金属油扩散泵系统(烘烤后)的性能和金属油扩散泵超高真空系统中剩余气体组分。
    增加冷阱装置，防止泵油返流和迁移
    泵油通过泵的入口流到被抽容器的现象叫做返流。油分子沿着器壁移动进入被抽容器的现象，叫做反迁移。无论返流，还是反迁移，都影响真空系统的极限压力。冷阱广泛用于超高真空系统，它装在泵入口和真空室之间，不仅能有效地捕集扩散泵的返流蒸气及部分分裂解物，而且可抽除来自真空室的蒸气。装有各类阱的超高真空系统。经过*的高温烘烤去气后，可获得10^ - 8Pa～l0^-10Pa(或更高)的超高真空度。常用的冷阱是液氮冷阱，因为在液氮温度下，莱宝真空泵油的蒸气压力大大低于超高真空度的要求。设计液氮冷阱必须保证通过阱的分子都会碰到冷面上，同时结构要合理。装上液氮冷阱后，油扩散泵的抽速降低不高于40%。