光刻机温度控制装置该如何选型

光刻机温度控制装置该如何选型

　　如何选择合适的工业冷水机组，在机组的设计上又应该注意哪些方面呢?

　　1. 使用光刻机温度控制装置还是水冷式冷水机

　　工业冷水机组的冷凝方式分为风冷式和水冷式，对应的设备也常被称为光刻机温度控制装置组和水冷式工业冷水机组，光刻机温度控制装置组的选型先要考虑是否适合采用风冷的冷凝方式

　　2. 确定制冷量需求

　　需要计算待控温设备实际应用所需要的制冷量是多少，通常可以根据客户所提供的制冷量或压缩机功率要求来直接确定，也可以根据实际工艺情况和经验来进行估算，需要注意的是通常所说光刻机温度控制装置组的制冷量指的是额定制冷量，还需要结合实际环境温度等因素来计算。

　　3. 蒸发器的选择

　　蒸发器类型：盘管式蒸发器 / 壳管式蒸发器 / 板式换热器

　　蒸发器材质: 被冷却液体（载冷剂）是否有耐酸耐碱等防腐要求，需要采用不锈钢、钛管等特殊材料

　　4. 循环水泵的选择

　　应结合应用设备的管道、安装距离、控温精度等因素来确定光刻机温度控制装置组中冷冻水循环泵的流量及扬程。

　　光刻机温度控制装置的选型还有其他许多需要注意的方面，如供电电压、冷媒是否有要求等等，在此不再一一赘述。