光刻机温度控制装置安装注意事项

光刻机温度控制装置安装注意事项

　　市场上关于光刻机温度控制装置的类型有多种，不同类型的光刻机温度控制装置其使用方法、作用、结构等都存在一定的差异，所以企业在选择时根据企业的状况选择适合自己的产品。

　　一、光刻机温度控制装置的安装方法：

　　（1）光刻机温度控制装置运行时要产生热量，应确保冷却空气的流通，安装时周围应留有一定的空间，产生的热量向上散发，所以不要安装在不耐热设备的周围。

　　（2）光刻机温度控制装置应直接安装在水平面，请勿倒装、斜装或垂直安装。

　　（3）光刻机温度控制装置不能安装在有各种纤维、纸片（屑）、金属碎块等场所。

　　（4）光刻机温度控制装置的出水口应与您的仪器的进水口相连接，仪器的出水口应与本冷却循环水机的进水口相连接。

　　二、光刻机温度控制装置的注意事项：

　　（1）电源一定要连接于主电源端子。如果错将电源连接于其它端子，将损坏冷却循环水机。另外应确认电源电压是否在允许电压范围内。

　　（2）接地端子须良好接地，防止电击或火灾事故。

　　（3）如是分体机，室内机与室外机的氟路连接须由冻水机、光刻机温度控制装置厂家的技术人员负责安装或调试。

　　（4）光刻机温度控制装置，应见各接线端子，接线时千万不要接错线。

　　（5）各端子和连接线之间是否有短路或对地短路。

　　（6）如使用温度较低请在循环液里加上防冻液。

　　（7）一定要用压接端子连接端子和导线，保证连接的可靠性。

　　（8）完成电路连接后，请检查连接是否都正确无误。

（9）有无漏接线。