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设备特点
真空气氛滑轨炉是一款精巧型快速热处理管式炉，配有石英管和真空水冷法兰，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计，采用电阻丝为加热元件。温度控制位30段可编程温度控制器，控温精度为±1°C。内部配有石英材质样品架，可以自由滑动实现快速升降温功能。根据工艺需要，炉管内部可引入电极，适合更多数据采集需要。 承载样品的托架可直接划出炉腔，使进出样品更方便简易，同时能实验高温条件下进出样品。
真空气氛滑轨炉技术参数
zui高温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1000℃ |
炉管 | Φ100 |
加热区长度 | 440mm |
炉膛材料 | 超细氧化铝纤维吸附成型 |
热电偶类型 | K型热热偶 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
钢管材质 | 310S |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，仪表为进口的欧陆表3508型 |
*升温速度 | 10min/℃ |
炉门结构 | 开启式 |
工作电源 | AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz |
额定功率 | 3KW |
外型尺寸 | 590×380×500 mm |
密封系统 | 炉管配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）端口可按实际使用扩展。 |
低真空机组
VAU-02是一套低真空机组，内部安装DRV-10机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
1、技术参数：
空气相对湿度 | ≤85% |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
抽气速率 | 10m3/h |
极限真空 | 4X10-2Pa |
实验真空度 | 1.0X10-1Pa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
转速 | 1450rpm |
噪音 | 50dB |
外型尺寸 | 600×600×650m |
2、真空计参数：
配用规管 | ZJ-52T电阻规 |
测量范围 | 10 5 ～10 -1 Pa |
测量路数 | 1路 |
控制范围 | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa |
控制方式 | 继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
电源 | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
功耗 | 20W |
3、冷水机
工作电压 | AC208-240V 50hz |
工作电流 | 1.4-2.1A |
压缩机功率 | 0.295kw |
制冷量 | 2361btu/h |
水箱容量 | 6L |
zui大流量 | 10L/min |
安全保护 | 压缩机过流保护流量报警，超温报警 |
净重 | 26kg |
机械尺寸 | 55x28x43cm |
