一、技术要求
产水压力：0.4MPa
产水水质：按ASTM D5127-2013 E-1.1级的水质标准
产水水质标准
序号 | 名 称 | 单 位 | 数据 | 备注 |
1 | 电阻率（25℃） | MΩ.CM | 18．2 | |
2 | TOC | μg/L | 2 | |
3 | 溶解氧 | μg/L | 10 | |
4 | 蒸发残渣 | μg/L | 0.5 | |
5 | 在线颗粒/升（微米） | |||
6 | 0.05～0.1 | 个 | 1000 | 在线监测 |
7 | 0.1～0.2 | 个 | 350 | 在线监测 |
8 | 0.2～0.5 | 个 | ＜100 | 在线监测 |
9 | 0.5～1.0 | 个 | ＜50 | 在线监测 |
10 | 1.0 | 个 | ＜20 | 在线监测 |
11 | SEM颗粒检测/升（微米） | |||
12 | 0.1～0.2 | 个 | 700 |
13 | 0.2～0.5 | 个 | 400 | |
14 | 0.5～1.0 | 个 | 50 | |
15 | 10 | 个 | ＜30 | |
16 | 细菌/100mL | |||
17 | 100mL取样 | 个 | 3 | |
18 | 总硅 | μg/L | 3 | |
19 | 溶解硅 | μg/L | 1 |
运行要求：年连续运转8000小时
管阀材质：采用进口PVDF超纯型管道阀门，热熔对焊。
二、产品*性分析
设备回收率：EDI装置回收率≥90%，EDI浓水全部回流至厂区除盐水系统原水箱。
设备控制：采用PLC+上位机全自动运行方式，同时可手动运行，系统带自检功能，声光报警。系统运行参数可存储，可打印。正常运行为自动，检修为手动，可实现无人值守。系统运行实况可于在线流程模拟屏上实时显示，如水箱液位的具体高度，增压泵出口压力，产水流量，EDI产水电阻率，产水流量，抛光混床产水电阻率、产水流量以及终端产水电阻率、在线监测微粒数等参数。
供水方式：超纯水系统供水采用不间断循环供水方式，回路设计背压阀保持循环量。