干式螺杆真空泵的泵腔内装有一对同步反向啮合旋转的多级螺旋转子，将泵腔分隔成几段不相连的空腔。正常工作时，随着两个转子的啮合转动，生成吸气腔并且体积不断增大吸入气体，当体积达到时，吸气腔转为中间腔；中间腔向右运动将气体从进气端向排气端运送，当中间腔与排气口通道相连时，中间腔转为排气腔；排气腔体积减少排出气体，当气体全部排出后，下一个中间腔开始与排气通道相连。如此循环往复从而形成持继的抽气效果。

干式螺杆真空泵可分为LG型等螺距螺杆真空泵与LGB型变螺距螺杆真空泵。

干式螺杆真空泵适合抽除各种气体，适用于真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空镀膜、真空冶炼、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空输送、真空吸附、真空包装、真空浇铸等工艺，广泛应用于航空航天、电子、冶金、医药、化工、半导体、镀膜、食品包装、冷冻干燥、铸造等行业。

结构原理图 Construction Scheme：

特点Characteristic：
—工作腔内无润滑油存在，可获得清洁真空，有利于提高产品质量。
—工作腔内无油气污染被抽气体，工艺性气体回收利用率高，尾气处理方便；同时也避免了油气和油烟等的排放，环境污染小。
—工作腔内无润滑油存在，避免了因润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗。
—泵适用范围广。泵工作腔及螺旋转子表面有防腐涂层，可适应恶劣的工况；
—泵腔内各运动零件之间为间隙密封结构，对少量小颗粒粉尘不敏感，且泵腔直通，无中隔板结构，粉尘不易在泵腔内沉积；采用防爆配置时可用于抽除易燃易爆的气体。
—泵可单独使用，或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组，作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统。

主要性能参数  Performance Parameter：

注：表中的数据为单泵的数据，配消声器后设备的排气口径与质量会发生变化。