工
作
台

X/Y轴行程

1000MM*1600MM

Z轴行程

有效空间245mm,调焦行程200mm，工作距离95mm

金属台面尺寸

1200MM*1800MM

玻璃台面尺寸

1100MM*1700MM

传动型式

X/Y/Z轴日本进口THK精密线性导轨和进口THK研磨级滚珠螺杆

测量伺服驱动
系统

光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005MM（0.5UM）

测量精度：≤3UM+L/200 重复精度：≤3UM+L/200

X/Y/Z三轴日本松下高性能伺服电机，双重闭环控制系统

影像系统

摄像机：日本SONY 1/3″CCD 摄像机放大倍率：30-230X

自动变倍镜头：NAV高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X  
可选配0.5X物镜，总放大倍率15-115X  
可选配2X物镜，总放大倍率60-460X

光源系统

表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调

仪器外形尺寸（L*W*H）

1750MM*2650MM*1650MM

仪器重量（KG）

3600KG