工

作

台

X/Y轴行程

400*300mm

Z轴行程

有效空间245mm,调焦行程200mm，工作距离95mm

大理石台面尺寸

550MM*450MM

玻璃台面尺寸

430MM*330MM

传动型式

传动型：X/Y/Z轴中国台湾进口精密线性导轨和中国台湾进口研磨级滚珠螺杆  

测量伺服驱动系统

光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0002MM（0.2UM）(进口金属贴片尺）

测量精度：≤2.5UM+L/250 重复精度：≤2.5UM+L/250

X/Y/Z三轴中国台湾高性能闭环伺服电机，双重闭环控制系统

影像系统

摄像机一：高分辨率彩色2/3CCD   200万数字相机摄像机放大倍率20-130X

摄像机二：导航200W高清相机

自动连续变倍镜头：高清变倍同轴偏光镜头//连续放大倍率0.7-4.5X

5X高工作距离物镜：总放大倍数100X-650X

光源系统

表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调 +同轴光源

仪器外形尺寸（L*W*H）

850MM*900MM*1650MM

仪器重量（KG）

380KG