实验室高纯气路泄漏量试验规定：

1、泄漏量试验应在压力试验合格后进行，试验介质宜采用空气或氮气。 对输送高纯气体的管道的泄漏试验介质 宜采用纯度 >99.999%的氮气；

2、泄漏量试验压力应为设计压力 ；

3、泄漏量试验时间，应连续试验24h ；

4、泄漏量试验工作，可根据具体条件宜与系统调试结合进行。

5、 泄漏量试验， 可按式4.1计算泄漏量，并以平均每小时泄漏量不超过1%为合格 。

实验室高纯气路系统调试、测试要求：

1、强度实验：管内冲人高纯氮气使压力到达0.8MPa,保持此压力如10min内压力不降为合格；

2、严密性实验：管内冲人高纯氮气使压力到达0. 5MPa,保持此压力如30min内压力不降为合格；

3、洁净测试：管路中冲人纯氮，关闭所有阀门，打开末端阀用一张白布放在管口一分钟如白布上无杂质和水分即为合格。