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激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。
广泛用于平面光学元件高精度检测。
1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。
技术指标
项目 | 型号 |
测量方式 | 菲索干涉原理 |
移相方式 | 波长移相或机械移相 |
主机波长 | 632.8nm (可定制) |
主相机分辨率 | 2048*2048 |
测量口径 | 4-inch(101.6mm) |
主相机调焦能力 | 有 |
主相机采集速度 | 50Hz |
透射平面参考镜面形误差(PV) | λ/10 |
反射平面参考镜面形误差(PV) | ≦ λ/10(可定制 λ/20) |
空腔精度(PV) | ≦ λ/10， λ=632.8nm |
面形误差测量重复性(RMS) | ≦ 1nm (2δ) |
测量高平行度光学元件透、反射波前 | 支持 |
标准配件 | 计算机 、条纹监视及分析软件 |
相干长度 | 1.0m (若被扩束，此参数会变长) |
工作温度要求 | 22℃ ±1℃ |
工作温度波动要求 | 每小时变化小于 1℃ |
工作湿度要求 | 55%±10%RH |
隔震要求 | 气浮平台，固有频率：1-2Hz |
工作电压 | AC 110-220V,50/60Hz |
