实验型微波等离子去胶机

实验型微波等离子去胶机

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2024-05-22 14:27:44
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东莞市晟鼎精密仪器有限公司

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产品简介

实验型微波等离子去胶机

详细介绍

应用范围

碳化硅刻蚀

刻蚀后表面清洁

氧化硅或氮化硅刻蚀

刻蚀后表面清洁

介质与介质间光阻去除


表面残留物清除

产品优势
暂无数据
应用案例
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设备整体参数
自动化程度 半自动
PLASMA电源 RF+BIAS
尺寸（L*W*H） 1140*1050*1620mm
适用范围 4-8寸
单次处理片数 1

配件类型

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