一、概况及原理：

罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。二个三叶型转子与泵腔保持一定的间隙，通过一对同步反向旋转高精度齿轮使二个转子在泵腔内旋转时相互啮合并保持一定间隙。下图为泵的结构原理图，从图Ⅰ至Ⅳ为转子在泵腔内旋转并完成一次吸、排气的过程。

采用三叶型线转子的罗茨真空泵比传统二叶型线转子的罗茨真空泵的抽气效率、容许压差、温升、振动、噪声等主要性能指标都具有明显的技术优势。

二、主要特点：

1、转速高、容积效率高、温升低、振动小。

2、结构简单、可靠性好，使用、维护更方便。

3、转子被锁紧，转子无轴向串动现象、故障率更低。

4、与传统二叶罗茨真空泵比较，抽气性能优势十分明显。

5、采用高精度传动齿轮和精密滚动轴承，噪声低、运转平稳。

6、主轴采用多弹簧平衡式机械密封，确保泵腔无油和泵的长期无泄漏。

7、端盖密封可采用机械密封、骨架密封、活塞环迷宫密封等多种结构型式。

8、可与油封机械泵、往复泵、液环泵、螺杆型干式泵等前级泵配套，满足各类工艺要求。

三、应用范围：

罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时仍具有较大抽气效率，但普通罗茨真空泵一般情况下是不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用。当前级真空泵将系统内的压力抽到罗茨真空泵容许启动压力后，才可启动罗茨真空泵。

根据不同的工作压力和工艺条件，罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封式机械真空泵、液环式真空泵、螺干干式真空泵等。配置不同类别的前级真空泵后罗茨真空泵各项性能指标有所不同。

罗茨真空泵主要应用于需要大抽速和粗、中真空(10³ ～10^－2Pa)的任何真空系统中,例如: 真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、激光器制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。

四、罗茨真空泵主要技术参数：

五、性能曲线：

六、外形尺寸：