测量范围

X

300mm

Y

200mm

Z

150mm

含激光点寻位上灯，自动对焦

玻璃台面

350mm*250mm

承重

50kg

CCD

美国康斯特350万像素 800TV线工业高清晰彩色CCD

变焦物镜

美国MVTA 连续变倍变焦镜头0.7－4.5X(选配同轴光)，无需校正

视频放大分倍率

影像倍数30X－200X

工作距离

95mm

显示分辨率

0.0001mm

日本运动控制系统：全闭环控制：三轴伺服马达全闭环控制

光栅尺

高精密封闭光栅尺 分辨率： 0.005mm

重复性

2μm-3um

测量精度

XY≦(2.5+L/300)um，L表示测量的长度，相除的数字越大仪器精度越高。

外形尺寸（mm)

1500*1200*1600

仪器重量(kg)

1200 kg

照明

可程控LED表面光及直轴轮廓冷光源（选配同轴冷光源）,亮度可调

电源

110V-220V±10%  50/60Hz   电流大于10A