低温等离子是由电子、离子、自由基和中性粒子流组成，工作状态呈流星雨状电性流体，属固态、液态、气态之外的第四种物质形态。等离子发生器整体保持电中性，。

工作原理：

采用低温等离子体分解工业废气、恶臭废气等污染介质时，等离子体中的离子起决定性的作用。流星雨状的等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生的各类化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度及共存的介质成分。裂解工业废气如：氨、胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使或无机高分子恶臭化合物分子链，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。