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气相/液相渗硅炉

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产品简介

用途：底升式碳管烧结炉，底部出装料是理想的碳基材料气相、液相渗硅炉.主要配置：1.立式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计

用途：

底升式碳管烧结炉，底部出装料是理想的碳基材料气相、液相渗硅炉.

主要配置：

1.立式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计。

2.炉膛内石墨碳管发热体，保温层，测温、监测热电偶等组成。

3.出、装料盘装在炉底由电机驱动升降，便于出、装料。

4.PLC加触摸屏操作方式，有报警功能，自动化程序高,安全可靠

主要技术参数:

1.工作区：Ø300X500mm

2.高温度：2000℃

3.工作温度：1650℃

4.极限真空度：5X10^-3Pa

5.保护气氛氮或氩气

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