洁净室分类

洁净室按空气洁净程度分类。 在美国的联邦标准 209（A 到 D）中，等于或大于 0.5 毫米的颗粒数量是在 1 立方英尺的空气中测量的，该计数用于对洁净室进行分类。 该标准 209E 版本也接受此指标。 国内使用联邦标准 209E。 较新的标准是国际标准组织的 TC 209。洁净实验室 这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行分类。 洁净室分类标准 FS 209E 和 ISO 14644-1 需要特定的粒子计数测量和计算来对洁净室或洁净区的洁净度等级进行分类。 在英国，英国标准 5295 用于对洁净室进行分类。 净化洁净室该标准即将被 BS EN ISO 14644-1 取代。

洁净室根据每单位空气允许的颗粒数量和大小进行分类。 诸如“100 级”或“1000 级”等大数字参考 FED_STD-209E，表示每立方英尺空气中允许的 0.5 毫米或更大尺寸的颗粒数量。 该标准还允许插值，因此例如可以描述“2000 级”。

小数字是指 ISO 14644-1 标准，净化洁净工程该标准规定了每立方米空气中允许的 0.1 微米或更大的颗粒数量的十进制对数。 因此，例如，ISO 5 级洁净室每平方米有 105 = 100,000 个颗粒。

FS 209E 和 ISO 14644-1 都假定颗粒大小和颗粒浓度之间的对数关系。 所以没有零粒子浓度这样的东西。 正常的室内空气约为 1,000,000 或 ISO 9。