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该设备实在简易型近空间升华炉的基础上改进而来,温区更长,管径更大,对开式结构温场对称性更好,散热更快。源坩埚和衬底总成分别放置在两个石英托架内,放置在炉膛内部的石英管轨道上。
1. 炉膛开门结构分为左右两个独立单元,上下两排灯管分别独立控温,加热结束后炉膛均可通过按钮控制或自动分开成两半,管子暴露在室温环境下,底部两个风扇强制风冷对其散热。
2. 主炉体下方分为两个区域,分别为电器控制部分和真空部分。电器控制部分内有温控电路和机械动作控制器等。真空部分包含一台直联旋片式机械真空泵、数显真空计和正压保护电路。
3. 石英管固定通过两端法兰上的支撑固定架与炉体螺栓固定连接,保证管子和法兰位置始终不变。
炉膛模式: | 前后移动开启式炉膛 |
显示模式: | 7英寸触摸屏 |
加热元件: | 短红外波灯管,上下水平面独立加热 |
工作温度: | ≤800℃ |
升温速率: | 10℃/s |
样品移动: | 无 |
温区长度: | 300mm(恒温区100*100mm) |
温度均匀性: | ≤±3℃ |
炉管规格: | Φ150*700mm |
控温精度: | ±1℃ |
密封方式: | 快速法兰密封 |
仪表补偿: | 室温自动补偿 |
温度曲线: | 10段"时间—温度曲线"任意可设,预存100条工艺曲线 |
外壳温度: | ≤50℃(室温≤25℃) |
超温报警: | 有 |
过流保护: | 有 |
断偶提示: | 有 |
测温元件: | K型铠装热电偶 |
炉膛材料: | 氧化铝纤维 |
外形尺寸: | 1100*800*1300MM |
整机功率: | 20kw |
电源参数: | 220V 50Hz |
真空与气氛: | |
抽真空能力: | 大气到≤5Pa小于5min |
气压范围: | 10-3Pa~105Pa,机械泵极限≤5Pa |
泄漏率: | ≤5-4(Pa*m3/s) |
真空计范围: | 大气到10-4Pa,分辨率0.01Pa |
气路系统: | |
1路进气口,内有管道布气。: | |
超压保护(≥1atm),根据设定压力值自动排气: | |
其它功能: | |
温度数据存储: | 可存储大于3个月的数据 |
数据导出: | U盘导出excel或csv格式 |
工艺曲线: | 触摸屏可显示设定曲线预览 |