光学轮廓测量显微镜

一、技术参数

1. 观察筒：正像观察筒，45°铰链式三目，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比

双目:三目=100：0 或 0:100

2.移动行程范围：  X:100mm;Y:100mm

分辨率 Z 轴不小于 0.02um，XY 轴不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um

3.工作台尺寸： 355×240mm  (玻璃台面尺寸：210×175mm)

4.可检测表面粗糙度：不小于 40nm

5.物镜： 5X、10X、20X、50X、100X

6.总放大倍数 50X-1000X

7.双照明光源，带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心

反射照明： 高亮度5V，3W（LED）

投射照明：高亮度5V，3W（LED）

8. 适配镜：直径：59mm, 0.5 倍，内调焦距：0～3mm 调焦后可锁紧；

感光元件 1/2″，数据采集速度，可达 30 帧/秒，高分辨率：2048×1536

光学轮廓测量显微镜配置清单