利用催化剂使有害气体中的可燃组分在较低的温度下氧化分解的净化方法。对于 CnHm 和有机溶济蒸汽氧化分解生成CO₂和H₂O并释放出大量热量。该装置主体结构由净化装置主机、引风机、控制系统三大部分组成。其装置包括：阻火除尘器、热交换器、预热器、催化燃烧室。

活性炭脱附出来的高浓度、小风量、高温度的有机废气经阻火除尘器过滤后，进入特制的板式热交换器和催化反应后的高温气体进行能量间接交换，此时废气源的温度得到次提升；具有一定温度的气体进入预热器，进行第二次的温度提升；之后进入级催化反应，此时有机废气在低温下部份分解，并释放出能量，对废气源进行直接加热，将气体温度提高到催化反应的温度；经温度检测系统检测，温度符合催化反应的温度要求，进入催化燃烧室，将有机气体分解，同时释放出大量的热量；净化后的气体通过热交换器将热能转换给出冷气流，降温后气体由引风机排空。