半导体晶片切割超纯水设备

半导体晶片切割超纯水设备

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2024-02-11 12:07:33
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苏州创纯环保设备有限公司

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产品简介

【】半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料

详细介绍

 半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体材料很多,按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类,锗和硅是的元素半导体。化合物半导体包括Ⅲ-Ⅴ族化合物:砷化镓、磷化镓等;Ⅱ-Ⅵ族化合物:硫化镉、硫化锌等;氧化物:锰、铬、铁、铜的氧化物,以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体:镓铝砷、镓砷磷等。除上述晶态半导体外,还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。

半导体的生产必须要用的超纯水,以下为半导体超纯水设备常用工艺:

1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点 (15MΩ.CM)(传统工艺)


2、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水点(18MΩ.CM)(传统工艺)


3、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.20.5μm精密过滤器→用水点(15MΩ.CM)(工艺)


4、预处理系统→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.20.5μm精密过滤器→用水点(17MΩ.CM)(工艺)


5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.20.5μm精密过滤器→用水点(18MΩ.CM)(工艺)


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