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| 型号 | MF-501 | MF-1001 | MH-15M | |
| 测量范围 | 0-50mm | 0-100mm | 0-15mm | |
| zui小读取值 | MFC-101使用时 | 0.1μm、0.5μm、1μm可切换 | ---------- | |
| TC-101使用时 | 0.01μm、5μm、1μm、0.1μm、0.05μm可切换 | |||
| 精度（20℃） | 1μm | 3μm | 0.7μm | |
| 测量速度 | 500mm/sec以下 | 100mm/sec以下 | ||
| 测定力 | 下方向115-165gf | 下方向125-185gf | 上方向25gf | |
| （约30gf变更可能）横方向65-125gf | （约30gf变更可能）横方向65-125gf | 下方向65gf | ||
| | | 横方向45gf | ||
| 外部出力 | RS-232C打印机输出口 | |||
| 重量 | 约460g | 约610g | 约140g | |
