◆ 外形尺寸

570（W）×420（D）×740（H）mm

  ◆ 仓体结构（不锈钢，约20升）

 420（W）×270（D）×170（H）mm 

◆ 电极面积

  250（W） ×190（D） mm,3层  

 RIE or DP模式自动转换

  ◆ 等离子发生器（韩国KM）

 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

  ◆ 控制系统

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，

性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统

德国莱宝（Leybold）真空泵   D30C （37m3/h）

 进口气动角阀、充气阀，德国（Inficon）压力传感器

  ◆ 压力控制

PID闭环自动稳压控制