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Seya Namioka 结构真空紫外光谱仪
Seya Namioka 结构采用一片凹面光栅完成衍射与成像，包含角约70°。单反射面具备较低反射损失，最短适用波长可达30nm。仪器可配置入射、出射狭缝构成单色仪，采用全息校正光栅或非球面光栅进行像场校正时可搭配CCD等平面探测器使用。
图1 234/302 光谱仪的多种配置
234/302型200mm焦距S-N结构光谱仪是McPherson的真空紫外光谱仪，目前更新为型号Monarch。光谱仪具备200mm焦距、F/4.5相对口径，最短适用波长可达30nm、分辨率0.1nm。234/302 配备IV类像差校正的光栅，可作为扫描单色仪使用，也可配接CCD相机等多通道探测器作为光谱仪使用；支持双光栅塔轮、双入口或双出口切换、双级联单色仪等扩展。标准型号支持1E-6 Torr 高真空，另可选择不锈钢腔体的超高真空型号。
产品特点
l IV类像差校正，可搭配CCD或MCP
l 200mm焦距，F/4.5大口径
l 灵活配置及选项：双光栅塔轮，多出（入）口，超高真空
主要参数
光学设计 | 像差校正Seya-Namioka，32°入射角 |
焦距 | 200mm |
相对口径F/No. | 4.5 |
波长范围 | 30nm ~ 550nm，取决于光栅 |
波长准确度 | ±0.1nm（1200g/mm光栅） |
波长可重复性 | ±0.05nm（1200g/mm光栅） |
狭缝 | 0.01 - 3mm连续可调 |
真空度 | 1E-6 Torr；可选UHV |
焦平面 | 25mm 宽 |
光栅选型表
刻画密度 (g/mm) | 2400 | 1200 | 600 | 300 |
分辨率 (nm,FWHM) | 0.05 | 0.10 | 0.2 | 0.4 |
色散 (nm/mm) | 2 | 4 | 8 | 16 |
波长范围 (nm) | 225 | 550 | 1100 | 2200 |
优化波长 (nm) | 80 | 140 | 140 | 140 |
140 | 300 |
光谱示例
图2 采用不同光栅获取的He-Ne混合空芯阴极灯光谱
典型应用
l 真空紫外发光与激光
l 真空紫外可调单色光源
l 等离子体光谱诊断
l 紫外光电子能谱
更多型号产品
面向更高分辨率的需求，McPherson可提供500mm、1000mm长焦距的S-N结构光栅光谱仪，分辨率分别达到0.025、0.05nm。
图3 Model 235（左，500mm焦距）、Model 231（右，1m焦距）S-N结构VUV光谱仪
