Cubic-200分子束外延生长系统
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北京中研环科科技有限公司
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简介：
Cubic-200分子束外延生长系统由一体成形的不锈钢腔体组成，无焊接部分，确保了的泄露可能性；6个CF100和8个CF40的超高真空标准法兰口，满足分子束外延生长各项部件的安装需求。配有300L/s抽速分子泵及无油前级机械泵，全量程规（或离子规），INFICON膜厚测量仪，4轴变温样品台，最多可装配7个蒸发源，满足多种薄膜材料的生长需求。
基本配置：
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