SWAGELOK SCF 系列 UHP 气体过滤器旨在满足 SEMI E49.8-96 的严格要求。 凭借专有的 Membralox 陶瓷元件和 316L VAR 不锈钢外壳，SCF 系列 UHP 过滤器是许多要求苛刻的气体过滤应用的解决方案。

Membralox陶瓷过滤技术

原装 Swagelok VCR 端面密封接头

在大流速下 0.003 µm 颗粒去除率大于 99.9999999 %

流量达 2700 标准升/分钟

高颗粒去除效率

低的颗粒脱落

良好的的水分干燥特性

低的释气

良好的的化学相容性

高差压等级

直列式全焊接结构

大流速：30、225、600、900 和 2700 标准升/分钟

端接：1/4、1/2 和 3/4 英寸一体式外螺纹 VCR 面密封接头； 1/4 英寸内螺纹 VCR 面密封接头