HiPace 10 - 800 

抽速等级在10-800 L/s 的 紧凑型

球轴承或复合轴承涡轮分子泵

产品优势 

1. 抽速从10-800升/秒的全系列产品

2. 稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统

3. 经凑型结构以满足更小的物理空间安装需求

4. 高气流量和高抽速

5. 可任意角度安装

6. 防护等级IP54符合工业环境应用要求

7. 可以用于腐蚀性气体工况

8. SEMI S2和UL认证

9. 可现场更换轴承

HiPace 1200-2300

抽速等级在1000 - 2000 L/S 的紧凑型

复合轴承涡轮分子泵

产品优势：

1. 四种抽速，抽速为自1000 至 2300 l/s

2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速

3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 耐粉尘

4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体

5. 集成的TC 1200驱动单元，可直接连接一般电源

6. 耐腐蚀

7. 带节气阀门的集成密封气体系统

8. 标准接口界面：RS-485 以及远程控制；Profibus或者DeviceNet 可供选择

9. 符合 IP54 防护标准，适用于工业应用环境

10. 符合 Semi S2 规范

11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证

HiPace 300 - 800M,ATH 500 M 

抽速等级在300 - 800 L/S 的紧凑型

磁悬浮涡轮分子泵

产品优势：

1. 安装简便

2. 任意角度安装

3. 集成控制器

4. 无润滑油的磁轴承技术

5. 对所有过程气体都能实现高气流量

6. 地震动及低磁场干扰

7. 动平衡自动补偿

8. 转速范围大

9. 出色的稳定性和可靠性

ATM 1600 - 3200 M, ATP 2300 M

抽速等级在1400 - 2800 L/S 的紧凑型

磁悬浮涡轮分子泵

产品优势：

1. 无润滑油的磁轴承技术

2. 对所有过程气体都能实现高气流量

3. 出色的稳定性和可靠性

4. 更好的前级泵兼容性

5. 气体进入稳定性高

6. 免维护低成本保养费

7. 转速可选范围大，适合定制化工艺需求

8. 极低的噪音和震动

9. 任意角度安装

10. 磁轴承技术现实转子实时监控