合格的原料水由多级泵增压后进入冷凝器，再依次进入各效预热器（原料水在冷凝器被二次蒸汽、蒸馏水加热，在一效预热器被工业蒸汽凝结水加热，进入以后各效预热器被二次蒸汽的凝结水加热），然后进入一效蒸发器经料水分配器喷射在加热管内壁，使料水在管壁成膜状流动，被工业蒸汽加热汽化。产生的夹带水滴的二次蒸汽，从蒸发室下端进入汽水分离装置，被分离的纯蒸汽进入下一效作为加热蒸汽，未被蒸发的原料水进入下一效，重复上述过程。未效产生的纯蒸汽进入冷凝器同来自除一效之外的各效的冷凝水汇合冷却，经排除不凝性气体后（根据机型的不同，在蒸发器上也可能设有此种不凝气体连续排放装置），成为注射用水。出口一般经过电导率的在线检测，合格的蒸馏水作为注射用水输出，不合格的蒸馏水将被排放。