千级洁净棚，或万级洁净棚检测

涉及标准

■《洁净室施工及验收规范》GB 50591-2010

■ 《洁净厂房设计规范》GB 50073-2013

检测前要求：洁净棚已清洁完毕;已经运行至少30分钟

性能确认

1性能确认目的：通过在运行过程中检查洁净棚内部的尘埃粒子、换气次数、照度、噪音等情况，确认此设备是否能够达到设计标准要求。

2可接受标准:

1）尘埃粒子：尘埃粒子数不低于设计洁净级别

2）风换气次数：换气次数不小于设计值。

3）照度：照度200LX-500LX。

5）噪声：不大于60dB

4）高效过滤器任何点的泄漏率小于0.01%

换气次数测试

使用仪器：风量罩/风量仪/风速仪

检测方法是：将每个送风口均匀分成每边长不超过200mm的n个正方形或矩形，使用热球式风速仪测量每个正方形或矩形型心处的送风速度，用每个测点风速的算术平均值作为送风口平均风速。

换气次数按下式计算：    N= v_p×f×3600/V

式中：n－换气次数,次/h

     v_p－送风口平均风速，m/s

     f－送风口总面积，m²

     V－传递窗送风区体积，m³

照度检测

使用照度计：测点距地面高0．8m，按1m～2m间距布点，30㎡以内的房间测点距墙面0．5m，超过30㎡的房间，测点离墙1m。

判定：无采光窗的洁净室（区）的生产用房间一般照明的照度标准值宜200LX-500LX,辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等宜为150LX-300LX

噪声测试

测点距地面高1．1m。面积在15㎡以下的洁净室，可只测室中心1点，15㎡以上的洁净室除中心1点外，应再测对角4点，距侧墙各1m，测点朝向各角。

悬浮粒子测试

使用仪器：激光尘埃粒子计数器.

检测状态：静态检测，室内测试人员不得多于2人。

检测方法：将风速旋钮风别调至三个不同的风速档，对每个风速档按下面要求的检测点进行检测。

尘埃粒子采样量

每个采样点的每次最小采样量VS用下式确定：

VS=   { 20/ Cn.m }  ×1000                 

式中，

VS ——每个采样点每次最少采样量，用升表示。

Cn.m ——为相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值（pc/m3空气）。

20   ——当粒子浓度处于该等级限值时，可被检测到的粒子数。

取样点数

n_min=√A（洁净区测试面积开根号）

式中：n_min——最少测点数（小数一律进位为整数）；

A——被测对象的面积（㎡）；对于非单向流洁净室，指房间面积；对于单向流洁净室，指垂直于气流的房间截面积；对于局部单向流洁净区，指送风面积

采样点数目及位置：距离地面0.8高度的平面上均匀布置，

高效过滤器检漏

使用设备：光度计+气溶胶发生器（冷发）

1、在检测仪上游PAO测试管与设备PAO测试孔连接

2、在HEPA上游区域发PAO气溶胶，上游浓度达到20-80ug/L后，用光度计在下游距离高效出口25mm处进行扫描巡检

判定依据：高效过滤器任何点的泄漏率小于0.01%